
晶圓wafer從小晶粒,到獨立芯片的加工過程中需要用到的重要的一步。
中文全稱:共晶貼片
英文全稱:Die Bonding
簡稱:Die Bonding
Die Bonding(固晶/貼片)
一般是指芯片封裝的一個關鍵工藝過程。主要是為了后序的金線鍵合做準備的工序,形成電通路。
貼片工藝有四種:
貼片工藝一:共晶結合,在光器件領域主要是采用金錫材料。所謂共晶是指在一定穩定溫度壓力下,不同金屬通過將表面接觸,形成相對低溫熔融狀的合金,冷卻后形成固體密封的方法叫做共晶鍵合。也就是想要讓兩者連接在一起,可以在需要焊接的部分鍍上合金材料,完后進行共晶處理。
貼片工藝二:樹脂結合法(環氧膠)材料和加工成本低,加工溫度低,不易發生芯片裂縫,但是電/熱傳導性差。
貼片工藝三:焊錫結合法,優點是可以緩和材料之間的熱膨脹差引起的熱應力,缺點是易脆化,易產生氣泡。
貼片工藝之四:玻璃接著法:用低熔點玻璃(軟化溫度在 390C 到 420C )粘接芯片和基板的方法

參考信息:https://mrsisystems.com/eutectic-die-bonding-cn/